无尘服了。
浸没式光刻机不是把机器泡在水里就行的。
首先，对水的纯度要求极高。
水中溶解的杂质会污染硅片就不要说了，连水中溶解的气体都得去掉，否则会产生气泡，对光刻产生影响。
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