大片之间就直接叠在了一起,一共32大片,也就是512小片,看来因为数量不整,对方多送了几片。
许秋带上手套,“bang”、“bang”、“bang”的掰了两大片,一共32小片出来,不是很难掰,稍微用力就能够分开。
他随手拿起一片,撕掉上面的薄膜保护层,ito薄膜电极反射出淡紫色的光芒。
有了这批ito基片,加上周五到货的掩膜版,材料已经备齐,许秋准备尝试制备一批新图案的器件。
许秋看了眼吴菲菲,在整理她的文章,没有做器件的意愿,他便带着莫文琳进入实验室。
韩嘉莹见状,也跟了过去。
许秋和韩嘉莹眼神交流了一番:“***?”、“***!”
随后,他向莫文琳吩咐道:“今天用这种新基片,做20片器件出来,条件和之前的那几批一样。”
莫文琳看了看许秋,又看了看跟在他身后叉着腰的韩嘉莹,点点头道:“好的。”
“你去教莫文琳做器件吧,我去换掩膜版。”许秋随意说道。
韩嘉莹歪头考虑了一会儿,说道:“好~”
许秋将掩膜版、遮挡板等传入旁边蒸镀手套箱,随后进入手套箱,打开蒸镀舱。
蒸镀仪器的掩膜版被固定在样品台下方,拆卸起来还是比较麻烦的。
第一步,需要将整个样品台卸下来。
许秋观察了一番,发现样品台依靠三个螺母被固定在蒸镀舱的最上方。
他先将样品台上的样品支架取下,减轻样品台的重量,随后找了找手套箱中的工具篓,但是并没有找到扳手之类的大型工具,便打算直接用手把三个螺丝给拧下来。
上手之后,他发现这个样品台安装好之后一直没有更换过掩膜版,螺丝非常的紧。
许秋只能大力出奇迹,口中发出“嗯——”、“嗯——”的怪叫声用来蓄力,引得莫文琳和韩嘉莹侧目连连。
好不容易把三个螺丝卸了下来,连带着还有6个垫片。
许秋把它们小心的放在一个用封箱带围成的小空间内,防止遗失。
随后,他开始检查样品台。
样品台是三层的夹心结构,上层用来放样品支架,中间夹着掩膜版,下层就是一个中空的方形支架,用来固定掩膜版。
固定掩膜版的位置还有四个六角螺丝,许秋试了试,这回固定的非常紧,直接用手拆不下来,需要用六角螺丝刀。
他在工具篓中翻了翻,发现了几个不同尺寸的六角螺丝刀,就是那种外部圆柱形,内部中空六边形的样式,在试了几种型号后,许秋找到了合适的那个。
有了工具,这回拆卸起来容易多了,许秋小心的把卸下来的四个六角螺丝和之前的几个螺母、垫片