第九五六章 研发极紫外光

作者:解剖老师 加入书签推荐本书

左右。”

“孙董事长,我放心了!”

艾德里安顿时轻松了一大截,孙董事长还是挺幽默的。

“汤普森院长,公司如今经费紧张,光源研究所是继续研制arf准分子激光器?还是像nikon开始研制f2准分子激光器?”

“孙董事长,我认为光源研究所应该另辟蹊径,开始研制波长只有十几个纳米的极紫外光?”

gca在八五年就研制成功arf准分子激光器,在光刻机光源领域全球领先,但在透镜和反射镜构成的光学系统方面逊于nikon半导体设备公司不断提升的光学系统,加上光刻机光源被卡在193nm波长上多年,又遭遇全球芯片生产的衰退期,光刻机的霸主地位逐渐被光学系统不断提升的nikon半导体设备公司抢走,年年亏损,公司裁人,技术人员流失,沦落到两次被贱卖的地步。

“汤普森院长预测光源研究所,能在多长的时间内研制成功极紫外光?”

孙健心中一喜,他不是不想投资研制极紫外光,而是担心投资太大,即使研制成功,没有配套的光学系统和相适应的光刻胶、掩膜版等,gca也生产不出euv光刻机!

前世,举国之力研制13.5nm的euv光源也没有结果,在世界上只有asml控股的cymer才能生产euv光源,可见难度之大!

在光刻机光源方面,光刻机光源后起之秀cymer如今还不是gca的对手。

cymer前世能成为光刻机光源的霸主,除了被asml收购后不断投入巨资研发外,也有asml将收购的gca光刻机光源研究所并入cymer光刻机光源研究院,强强联合。

前世,极紫外光技术的研发成功,不知道汤普森院长在其中发挥的作用?

gca光刻机半导体研究院的研究重心应该放在技术领先的arf准分子激光器和krf光刻胶研制上。

gca与ibm同是sematech会员,赢者通吃,避免重复研究,不担心ibm卡b子,ibm垄断krf光刻胶十几年,但不知道什么原因?前世是信越化学等日本公司在光刻胶上一枝独秀,还卡了韩国人的脖子!

“孙董事长,只要能保障光源研究所的研发经费,我保证光源研究所三年内研制成功极紫外光。”

“汤普森院长,光源研究所需要多少研发经费?”

汤普森院长不是年轻人,敢打包票,就说明有绝对的把握,重生者不怕花钱!一旦攻克了euv,能否生产euv光刻机?gca都会成为光刻机行业的领导者!

“董事长,我需要三千万元美元的研发经费,购买新的实验机器和材料。”

艾德里安和布罗迪等众人喜忧参半,公司如今的现金流只剩下三百多万美元,要花钱的地方多的是。

“汤普

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