爷告奶奶了,结果,屁用没有。”
陈楚默听到孟寻吐了句脏话,也是摇头失笑道,能把这么一个儒雅的中年人,逼到这份上。
看来光刻机的问题确实让其很头疼。
“孟兄,你说的对,确实不一样,我们都是华夏企业,虽然有不同的利益诉求,但是本质上是血浓于水的。
打断了筋也连着骨头的!
你说呢?”
孟寻怔了一下,没想到陈楚默
下面先别看,还在码
asml为半导体生产商提供光刻机及相关服务,twinscan系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向asml采购twinscan机型,比如英特尔(intel)、三星(samsung)、海力士(hynix)、台积电(tsmc)、中芯国际(smic)等。
asml的产品线分为pas系列、at系列、xt系列和nxt系列,其中pas系列光源为高压汞灯光源,现已停产;at系列属于老型号,多数已经停产。市场上的主力机种是xt系列以及nxt系列,为arf和krf激光光源,xt系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而nxt系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。
twinscan系列
twinscan系列
目前已经商用的最先进机型是twinscannxt1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。
asml正在加紧研制基于极紫外(euv)光源的新型光刻机,型号定为nxe系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10nm以下,并且可以显著提高集成电路质量。
除了目前致力于开发的twinscan平台外,asml还在积极与imec,ibm等半导体公司合作,开发下一代光刻技术,比如euv(极紫外线光刻),用于关键尺度在22纳米甚至更低的集成电路制造。目前asml已经向客户递交若干台euv机型,用于研发和实验。同时,基于传统twinscan平台的双重曝光等新兴技术,也在进一步成熟和研发过程当中。07年末三星(samsung)宣布成功生产的36纳米闪存,基于的便是双重曝光技术。
市场份额编辑
目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:asml、尼康(nikon)和佳能(canon)。根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,asml占据大约60%的市场份额。而最高端市场(例如沉浸式光刻机),asml大约目前占据80%的市场份额。不过,竞争对手尼康也在奋力追赶,主要优势在于相对较低的价格。
对华合作编辑