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半导体集成电路工艺,包括以下步骤,并重复使用:
使用单晶硅晶圆(或iii-v族,如砷化镓)用作基层,然后使用光刻、掺杂、cmp等技术制成mosfet或bjt等组件,再利用薄膜和cmp技术制成导线,如此便完成芯片制作。因产品性能需求及成本考量,导线可分为铝工艺(以溅镀为主)和铜工艺(以电镀为主参见damascene)。主要的工艺技术可以分为以下几大类:黄光微影、刻蚀、扩散、薄膜、平坦化制成、金属化制成。
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