速运动下的0.5微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上，其中一架飞机伸出一根杆子，在对面的机身上刻0.5微米大小的字。
至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。
因为曲慧刚出校门就进入了远芯，亲自参加了eda的诞生，又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。
说白了，就是曲慧所参与，所看到的，全是世界顶级的技术成果。
双工件台虽然出来了，却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。
她不甘心。
“这样，曲慧姐，我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走，但苏远山却知道双工件台的未来在何方。
“嗯？你说什么方向。”
“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦，所以……如果要把目光瞄准到十年，二十年之后，瞄准到纳米级精度的话，我认为，只有一条路，就是磁悬浮。”
“磁悬浮？”曲慧闻言一怔，直愣愣地望着苏远山。
郑振川也惊讶起来：“小山，磁悬浮能用在工件台上？”
“不是磁悬浮能用在工件台上，而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏，实现超精密运动控制，在现有的自然科学和机械空城的框架下，就只有磁悬浮这一条路。”
曲慧沉默数秒后慢慢点头，喃喃道：“是了，磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势，避开短板。”
“可是，那个难度怕是有点大吧？现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案？”郑振川则想了想，迟疑地问道。
“不知道，但管他呢！”曲慧吸了口气，整个人瞬间振奋了起来，望向苏远山道：“小山，你真觉得那是个方向？”
“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。
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有了新方向的曲慧再无心交谈，转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。
见曲慧这模样，苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了，可长期以来身处科研一线，身份身家都无与伦比，以至于心态还是小姑娘心态。
“郑叔，怎么说？”苏远山起身给郑振川斟满茶水，笑呵呵地问道：“你别告诉，你是来推销光刻机的。”
“嗯，还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来，笑着道：“我们拿到了蔡司的镜头和cymer的krf光源，接下来就能量产最低微米工艺节点的光刻机了。”
“我靠！”
苏远山眼珠子一瞪，差点没从沙发上弹起来：“怎么拿到的？”
“呵呵，别激动。”郑振