且因为工件台又是必须和光刻机的生产工序搭配,所以到最后郑振川也加入到了讲解中……
即便如此,苏远山也只是勉强能听懂。
不过这不重要,重要的是他知道,在目前,根本就没人往双工件台那方面想!而且现在就难度而言,微米级的精度下,远没有后世纳米级的精度下困难。
否则asml也不会垄断这玩意十几年——好吧,事实上是asml已经垄断了光刻机领域,也变相地直接垄断了双工件台。
如果现在双工件台能够成功出世,并与尼康,佳能,以及尚在襁褓中asml等光刻机建立起“联姻”一般的关系,那么,它天生便会完成垄断。
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