还需要不断检验程序的正确性,确定bug。
所以这又需要很长时间,当然,这些时间,相比较看不到成功的时间,完全不是问题。
……
镜片抛光技术搞定了,接下来的林晓,便开始了对双工作台的研究。
双工作台是能够增加光刻机生产效率的部件,一个工作台对硅晶圆进行扫描,一个工作台进行光刻。
华国在双工作台技术上已经实现了一次重要的突破,利用磁悬浮微动技术,实现了运动精度优于2nm的精密程度,提高了双工作台的分辨率,被认为是世界上除了阿斯麦尔第二个掌握了光刻机双工作台技术的国家。
只不过,这项技术在实际运用上还有较多的问题,这个突破的双工作台,并不能直接用于euv光刻机上。
当然,相比较存在问题,至少现在是有实体的,那么这对于林晓来说,要实现优化并不困难,不过除了优化之外,其中有点最关键的,还是基本仪器的精度上限。
林晓的优化,只能尽力让他们的仪器利用程度达到上限,但是却不能拔高这些仪器精度的上限,仪器精度上限的拔高,只能是这个仪器的基本属性能够得到提高。
就相当于他是一个顶级游戏高手,操作着一个两神装人物去打一个菜鸟使用的四神装人物,他凭借操作还能击败这个菜鸟,但是对方如果是六神装的菜鸟,一刀就能把他给干掉,他操作再好,也不可能躲掉人家的普通攻击嘛。
当然,他们现在也不是没有机会去提高这个仪器的上限,也就是编码器技术。
林晓当初研究八分结构的编码器,就是为了光刻机各个方面的研发,而现在他们将编码器的精度提升了上去,这些精度也就都能够实现提升,包括先前的离子束抛光技术,只要他们提升了编码器的精度,这些问题都将不是问题。
而现在,全国对于八分结构编码器的研究都进入了热潮,毕竟明眼人都能看到,只要利用这种新编码器研究出了更加精准的电机,对于一直以来都十分缺少超精密仪器的华国来说,到时候可是能够赚到大笔的钱。
当然,由于林晓对于那些外企的限制,所以从事这方面研究的都是国人的企业,更多的是国企研究机构,这样的热潮,那些外企也只能看着,除了眼红,没有任何办法。
而现在,实际上已经有不少用上了八分结构的编码器上市了,这些编码器因为制造成本低,不需要那种先进传感器,所以在价格上相对来说也更便宜一些,所以这类编码器也开始占据各种有关的市场,比如电梯市场,以及一些中低精度伺服电机的市场。
至于高精度伺服电机倒是还在研究中,但是也就是考虑如何将八分结构更好地嵌入到原来的结构中去而已,在难度上并不高。
像双工作台的伺服电机编码器也正处于积极研发当中。
只要这些编