程工艺在65纳米。
现在瑞星科技公司氟化氪激光光源光刻机极限制程工艺可以达到90纳米，这还是因为工件台的进度不够导致的，如果能把工件台的运动精度控制在2纳米，那么制程工艺可以达到70纳米左右！
瑞星科技公司在掌握沉浸式光刻技术后简直像是一头野蛮的公牛闯进了瓷器店一般，将这个原本只有三家瓜分的光刻机市场是搅得天翻地覆！
去年十月份瑞星科技公司推出的pas系列机型销售情况十分好，到现在总共是卖出去了五十多台，而且差不多有一大半是海外的客户，而采用氟化氪激光光源的xt系列也是卖出去了三台。
倒不是瑞星科技公司不想卖，而是德国蔡司提供的镜组就只有十几套，剩下的都要留给中晶微和华越电子公司以及华晶集团，实在是没货了。
不过pas系列的机型因为产能供得上，不过瑞星科技公司现在产能也是很吃紧——人手不够了。
在得知这个消息后，李开元也是格外高兴，“提出沉浸式光刻机技术是你提出来的方案吧，之前几年瑞星科技公司都是不声不响的，现在技术成熟后马上就推出了先进的产品，可以说是彻底地把这个市场格局给改变了，这证明科技创新才是最重要的。”
“是呀，现在瑞星科技公司掌握了光刻机的核心技术，国外对我们在半导体产业的限制是越来越少了。”马秋林笑着说道。
“比起淡马锡集团公司的来访，这个消息意义就更为重大了。”李开元点头道。
“这次中晶微公司收购了特许半导体的两家晶圆厂，还要和特许半导体再合资兴建一座十二寸的晶圆厂，这些晶圆厂的产能主要是用来生产什么类型的芯片？”
孙世聪问道。
“主要是用来生产手机相机需要的图像传感器跟控制芯片。”
杨杰也是将自己的计划向省里的这些领导作出了详细的说明。
“因为图像传感器是一个用途非常广泛的技术产品，我们公司把图像传感器当成了今后最重要的一个核心业务，尤其是在手机相机模块里面使用的图像传感器，这是以后图像传感器最大的一个细分市场之一。”
“根据我们公司对手机市场做出的调查，预计十年之后全球手机产销量达到17亿部，而拍照功能会成为手机最重要的功能之一，光是这么一款产品的对图像传感器的需求量就能达到十多亿颗，这需要至少二十多座八英寸的晶圆厂，十二寸的晶圆厂也需要数座以上。”
“虽然说随着制程工艺的进步，图像传感器可以做得越来越小，不过图像传感器需要足够的进光量，芯片尺寸也不会缩小得太多，更多的是提升图像质量。”
杨杰说道笑着说道：“所以说我收购特许半导体公司的两座晶圆厂只能说是刚刚满足现在我们公司接下来推出相机模块的需要而已，接下来的几年相机模块会