光刻机的零件几乎都是定制，90%的零件使用了世界最先进的加工技术，甚至一些接口都要工程师用高精度机械进行打磨，尺寸调整次数更可能高达百万次以上。如此困难的技术要求，造成了光刻机极低的产量，光刻机技术基本十年才会大更新一次
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