们不能失去的东西,否则我们会发现,自己要完全依赖海外制造者来指导,对我们来说最敏感的东西。”
这种意识确实超前。
为了把最先进的技术留在花旗国,一九九七年,英特尔和花旗国能源部牵头,成立了的euvllc联盟,希望能研发出光刻机,重拾半导体制霸权。
这个联盟有花旗国能源部,及其下属三大国家实验室,还有英特尔和摩托罗拉、amd、ibm等科技公司。
花旗国人还需要挑选一个光刻机公司加入联盟,尼糠和amsl都是不错的备选。
花旗国人显然不可能选用,崛起中的岛国企业,给自己制造麻烦。
于是,较为弱势的阿斯慢成功入伙。
作为回报,阿斯慢将替花旗国,把光刻机龙头的桂冠,从尼糠头上摘下。
阿斯慢用了两场战役,彻底将尼糠踩在脚下。
第一个关键的技术节点是,阿斯慢与台急电工程师宁本坚合作,用后者推崇的“浸润式光刻技术”,突破固有的制程限制。
宁本坚曾前往岛国宣传该技术,但尼糠等厂商并没有接受他的方案。
当时市面上的光刻机都是干式的,没有谁用液体做光刻机。
二零零四年,阿斯慢和台急电合作一年后,推出了第一台浸润式光刻机样机,波长能达到132nm,率先攻克芯片制程卡顿,并一举拿下ibm和台急电等大客户的订单。
尼糠虽然很快也推出了干式微影光刻机产品,但其光源只能做到157纳米,显然阿斯慢更胜一筹。
到二零零七年,阿斯慢的光刻机市场份额已达到百分之六十,首次超过尼糠。
而真正让阿斯慢封神的,还是独门的euv(极紫外线)光刻机。
这项技术的突破,离不开强大的盟友们。
euv联盟的几百位科学家,发表了大量论文研究euv技术。
身处其中的阿斯慢,能最先了解euv最新研发成果,也拥有花旗国最领先的半导体技术、材料学、光学以及精密制造,等技术的优先使用权。
作为交换,花旗国政府拥有对阿斯慢生产的监管权限。这也是为何今天花旗国会对阿斯慢有巨大话语权的原因之一。
euv联盟在二零零三年,认为理论工作已经完成,便在当年解散。
所有的技术成果,都由阿斯慢所掌握,但直到二零一五年,阿斯慢才将euv光刻机做到量产。
中间,因为花旗国顶级光源企业cymer,一直搞不定euv所需光源的研发,阿斯慢就在二零一二年将该公司收购了,投入重金全力研发euv所需的光源。
资金不足时,阿斯慢就从客户手里掏钱。
二零一二年,阿斯麦提出“客户联合投资计划